連續(xù)流探針臺半導(dǎo)體芯片測試設(shè)備探針臺采用模塊化設(shè)計，滿足廣泛的實(shí)驗需求，LH-CPX低溫探針臺是德世提供的一款通用高性能設(shè)備，出廠時可根據(jù)客戶需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據(jù)研究人員需要選擇，能滿足絕大多數(shù)實(shí)驗需求。LH-CPX有多層防輻射罩(液氦和液氮防輻射罩不同)有利于減少熱輻射，確保樣品溫度低于5K (液氦)。安裝多個溫度傳感器，保證溫度測量準(zhǔn)確性以及重復(fù)性。樣品處于真空環(huán)境中，確保一些親水性材料表面不冷凝，選件可實(shí)現(xiàn)樣品從制備到測量可處于真空環(huán)境中。LH-CPX 可以使用液氮和液氦兩種低溫液體，根據(jù)客戶需求出廠時配置好。

　　探針臺原理及應(yīng)用

　　德世的低溫探針臺為材料早期無損電性能測量提供了一個精準(zhǔn)的低溫磁場環(huán)境。探針 臺是物理科學(xué)家和研究人員對材料研究的有利便捷工具、并且測試測量重復(fù)性一致性比較好。 探針臺也可以作為一個靈活多用的公共測試平臺。典型的應(yīng)用包括不同溫度下普遍的IV 和CV曲線、微波測量、光電響應(yīng)、電輸運(yùn)特性、霍爾效應(yīng)測試以及其他類型的材料研究。

　　德世低溫探針臺提供了眾多的測試環(huán)境，可根據(jù)研究人員的需要自行選擇對應(yīng)型號， 以滿足研究人員多樣化的應(yīng)用需求。從通用平臺到專業(yè)平臺，每個德世探針臺都經(jīng)過精心設(shè)計，以確保在整個溫區(qū)范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行和可靠的測量。

　　特點(diǎn)

　　低溫液體冷卻樣品臺以及輻射屏，充分利用低溫液體，減少使用成本

　　可以使用液氮或者液氦制冷

　　輻射屏有可視窗，樣品可視化操作

　　多種附件可供選擇

　　德世銷售最多的低溫探針臺

　　可定制最大4in的樣品臺(標(biāo)配2in)

連續(xù)流探針臺半導(dǎo)體芯片測試設(shè)備

液氮配置

1.液氮冷卻樣品臺，蒸發(fā)后的低溫氮?dú)饫鋮s防輻射屏和二級防輻射屏

2. 防輻射屏帶紅外吸收窗口

3. 使用液氮作為冷源

時間參數(shù)：

◆抽空時間：0.5h (與泵組相關(guān))

◆降溫時間：液氦從室溫到蕞低溫1.25h, 液氮從室溫到蕞低溫0.5h

◆升溫時間：液氦從蕞低溫到室溫1.25h, 液氮從蕞低溫到室溫0.5h

樣品臺：

◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：51mm(2in)

◆蕞大樣品臺：102mm(4in)   選配

◆樣品臺背光：無

◆樣品臺類型：三同軸樣品臺(標(biāo)配)、接地樣品臺(選配)、0.15T 垂直磁場樣品臺(選配)

◆樣品臺旋轉(zhuǎn)：±5° (選件)

探針：

◆探針數(shù)量：蕞多6個

◆探針傳感器：硅二極管(液氦), PT100  (液氮),監(jiān)視探針溫度

◆探針托溫度：<20K ( 液 氦 ) , <100K (液氮)

◆探針熱沉：熱沉到探針臺或者相同溫度的防輻射屏

◆探針臂：熱沉到防輻射屏

◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100Fa

◆微波探針：DC到67GHz，用于微波測量

◆光纖探針：用于光電測量

探針位移 :

◆X方向行程:50mm，移動分辨率3 μm

◆Y方向行程:25mm，移動分辨率5 μm

◆Z方向行程:25mm，移動分辨率5μm

顯微鏡配置

3400萬像素CCD相機(jī)

支持HDMI1080P 60/圖像輸出

4條水平線4條垂直線，帶測量軟件

景深同軸光鏡頭，帶LED同軸光源

標(biāo)準(zhǔn)HDMI接口

電子縮放1x-10x

光學(xué)倍數(shù)0.7-5X

電子倍數(shù)20-200x

成像距離140-180mm

景深高度：10mm

觀看面積1mm-18mm

工作距離:37.5mm-160mm

數(shù)值孔徑NA:0.018-0.092

分辨率:18.6μm-3.65μm

視場:0.99mm-34.28mm★★

物鏡可選

顯示器尺寸:21.5英寸

制冷劑消耗：

◆室溫到蕞低溫度：10到15L ( 液 氦 ) , 4 到 5L (液氮)

◆液氦消耗(5K):1L/h

◆液氮消耗(80K):0.5L/h

探針臺配置